ASTM F 525-1988 用分布阻抗探头测量硅片电阻率的方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-03 16:45:38  浏览:8977   来源:标准资料网

【英文标准名称】:TestMethodforMeasuringResistivityofSiliconWafersUsingaSpreadingResistanceProbe
【原文标准名称】:用分布阻抗探头测量硅片电阻率的方法
【标准号】:ASTMF525-1988
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1988
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:压扁试验;垫圈;电子工程;垫片;电阻器;测量;硅
【英文主题词】:measurement;electronicengineering;washers;wafers;flatteningtests;resistors;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:14P;A4
【正文语种】:英语